高電圧ソリューション
コネクタ・ケーブル・加工の選定から製作・検査まで一貫対応
半導体製造装置では様々な工程で1,000Vを超える高電圧が利用されています。
露光用マスクを製作する際に用いられる電子銃、ウェハ表面を処理する際に用いられるプラズマ、真空チャンバー内でウェハを固定する際に使われる静電チャック等です。
センサー、信号、通信等の弱電と異なり、高電圧の接続には特別な知識を持って行わないと大事故につながる事も多い為、部品の選定・評価には通常よりも手間と時間が掛かります。
LEMOでは長年の経験と豊富な実績によりお客様の選定・評価に必要な情報を提供しながら、ケーブルの選定とコネクタ取付け加工、検査までを一貫して行います。ケーブルメーカー、コネクタメーカー、加工品メーカ―それぞれの責任範囲を全てLEMOが受け持ってご提案可能な為、お客様の選定作業の手間を省くことが出来ます。
また、近年の半導体製造装置の高機能化に伴って、高電圧用コネクタも小型化、省スペース化への対応が求められている中、ネジ式やバヨネット方式では固定時に必要な回転するスペースを確保する必要がありますが、LEMO高電圧コネクタはプッシュプル機構の為、そのスペースが不要でインターフェースを小さく保つことが可能です。今後の更なる装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧ソリューションを提供いたします。
- 安全保持を強く意識した、導通時のコネクタ抜け事故を防ぐセーフティナット付きタイプもご用意。
- 高電圧コネクタケーブル加工も自社工場で一貫生産いたします。
Best Solution：ご採用事例
最大50kVDC対応 豊富なラインナップ。
エッチング装置・成膜装置用電源ユニット
コネクタ:高電圧 Sシリーズ
スペック:4kVDC～15kVDC
コネクタ:高電圧 Y シリーズ
スペック:5kVAC～50kVAC、7kVDC～35kVDC
採用理由：バヨネット式コネクタのかん合作業性が良くなく、またシールド固定がクリンプの為ケーブル加工後の品質に個体差が出ていたが、LEMOコネクタはプッシュプル方式でかん合作業性が極めて良く、且つシールドをコネクタ内部の部品で挟み込む構造の為ケーブル加工品としての品質が安定している。
Pickup！1つの小型多極コネクタから複数装置へ同時に接続可能。
『REDEL2Pプラスチック製高電圧コネクタ』
REDEL 2P プラスチック製高電圧コネクタは2極、5極、および8極の3種類のインサート構成です。
1つのコネクタから複数装置へ同時に接続が可能で、省スペース化に貢献いたします。
IEC 60601-1(3rd Ed.)に準拠し、AC10kVの試験電圧。
＝主な用途＝
• プラズマ装置DCサプライ
• 静電チャック
• 乾式エッチング装置
